Description
由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合
Baldor Reliance DI Water Pump Motor 84Z04001
Hewlett Packard HP J4820A 5090-6194 Procurve 10/100-TX
National Instruments NI SCB-68 IO Connector Block
EMACS M1W-6500P 500-Watt Hot-Swap Power Supply
