Description
在工程实际应用过程中，依照DCS的特点采用了2种典型的方法来实现对公用系统的控制。九江三期的DCS是HITACHI公司生产的HIACS7000系统，在DCS的配置中，我们在2台机组中配置相同的硬件和软件，通过切换开关来实现操作权的转换。外部设备的信号通过冗余配置(模拟量)或通过扩展转换(开关量)分别送入2套DCS系统。同时因保证不出现误操作事故，还增加了相当部分的判据条件和I／0测点，这种方式的优点是当一台机组停运或检修，可以较方便地对DCS进行检查，同时也增大了控制的可靠性，缺点是增加了外部设备的数量，增加了费用
AMAT XR80 Implanter Gas Box (Single) 9010-00163ITL
Edwards IQDP80 QMB500 Dry Vacuum Pump
Nordson CW2 Curing System Power Supply MPS2-610V
Verity Spectrograph SD1024F-2-S 0190-28658
MKS Vapor On Demand Module VODMA33CR1BE
ENI OEM-12B RF Generator 1250W 0190-70080
TEL Upper Body Electrode 3D10-100293-V1
VAT Pneumatic Gate Valve 10846-UE24-ALK1 3870-03478
Nikon Optistation 7 Transfer Robot KAB11320
