LAM 660-097960-001  FI10002    

LAM 660-097960-001 FI10002 产品详情

产品概述

LAM 660-097960-001 FI10002 是由LAM Research（LAM研究）公司生产的一款微波磁控管头（Magnetron Head）。这种部件通常用于半导体制造设备中，为等离子体蚀刻等工艺提供微波能量。

产品特点

• 高频微波输出： 该磁控管头能够产生高频微波，用于激发等离子体，实现材料的蚀刻、沉积等工艺。
• 高功率密度： 提供高功率密度的微波输出，以满足高效率的工艺需求。
• 可靠性高： 设计用于在恶劣的半导体制造环境中长期稳定运行。
• 定制化： 可以根据不同的工艺需求进行定制化设计。

产品应用

• 半导体制造： 主要应用于半导体芯片的制造过程中，为等离子体蚀刻、薄膜沉积等工艺提供微波能量。
• 其他工业领域： 也可能应用于其他需要高频微波源的工业领域，例如材料加工、医疗设备等。

产品组成

• 磁控管本体： 产生微波能量的核心部件。
• 冷却系统： 用于散热，确保磁控管的稳定运行。
• 连接器： 用于连接其他设备，如电源、波导管等。