Description
厂用电源控制纳入DCS后，由于不设独立于DCS的硬手操，而根据以往电厂施工经验，在倒送厂用电时，DCS一般尚未投运，此时高压启／备变、高／低压厂用电源操作无法实现，故要求DCS设备安装、调试及投运在工期上予以配合。在厂用电设备安装调试的同时，开展了DCS的安装调试，特别是与厂用电有关的子系统的调试，使其投运在倒送厂用电之前，以满足电气倒送厂用电、厂内各工艺系统的分部试运行的要求。
Ham-Let Valve HMS20 4VKC RND Lot of 60 3870-05019
Nikon Robot WDR1D244DNR, WDZ1D238R
Ebara Cold Trap LX004 HT020-8A
Lucas Labs CAT Process Chamber Assurance Tool
TEL Tokyo Electron Weldment S-2 Pod & Tube A115115
Kensington 25-4021-0015-04 Servo Robot Controller
Kensington M4000 Servo Positioning Control 15-40000-000
Kensington Robot Controller 25-4021-0015-00
VAT Pendulum Valve 16546-PA21-AAE1
ENI B-5002 Spectrum RF Generator B-5002-02 Rev.E
VAT 16546-PA21-AAE1 Pendulum Valve 97737-R1
