Description
DCS从传统的仪表盘监控系统发展而来。因此，DCS从先天性来说较为侧重仪表的控制，比如我们使用的ABB Freelance2000 DCS系统甚至没有PID数量的限制（PID,比例微分积分算法，是调节阀、变频器闭环控制的标准算法，通常PID的数量决定了可以使用的调节阀数量）。
PLC从传统的继电器回路发展而来，最初的PLC甚至没有模拟量的处理能力，因此，PLC从开始就强调的是逻辑运算能力。
Semitool Wet Solvent Stripper WST308A
AceCo Y203 Upper Electrode S33-1574Y
AceCo Depo Shield Y203 S33-1862Y
TEL 300mm Depo Shield ES3D10-202163-V?1
Thermo Neslab DI Max Chiller DEI Water to Water Cooler
Yaskawa 300mm Prealigner XU-ACP130-B11
AE Advance Energy Litmas RPS Remote Plasma Source 31531
Thermo Noran CryoTiger Cold End 8815A-3SUS-SN
Semvision Opal MEC Assembly 50312500200
Lam OnTrak DSS200 Wafer Scrubber Chemical Delivery Assy
