Description
第一、平时注意检查软起动器的环境条件，防止在超过其允许的环境条件下运行。
第二、注意检查软起动器周围是否有妨碍其通风散热的物体，确保软起动器四周有足够的空间（大于150mm）。
第三、定期检查配电线端子是否松动，柜内元器件有否过热、变色、焦臭味等异常现象。
第四、定期清扫灰尘，以免影响散热，防止晶闸管因温升过高而损坏，同时也可避免因积尘引起的漏电和短路事故。RF Power Controller Model-10
Leybold Turbopump controller
PFEIFFER Power Supply TCP 300
MKS Pressure readout Type 110
Clean Room Partice Count Meter model 100
DELTEC UPS for Equipment Power backup
Tegal 803 Parts P/N: 39-754-009 Rev D
Tegal 903 Parts P/N: 39-926-002 Rev A
ULVAC Local Control Box, L/N 0H7285, S/N 19902021
Tegal 803 Part P/N 39-709-002 Rev C
Oriental Speed Control Motor with Controller Unit
