Description
对于2台机组的公用系统，如厂用公用及备用电源系统等与热工控制系统一样，DCS的配置能够实现机组停止时，另一台机组的运行人员能对公用系统进行监控，并且要求采用可靠的措施，确保其控制命令的唯一性，即在同一时间只允许一套DCS系统对公用设备起控制作用。不能因为公用系统的存在，而使2台机组的DCS耦合在一起
AMAT XR80 Implanter Scan Drive 0030-90107
AMAT XR80 Implanter Motor Assy.
Nikon NSR Stepper Transfer Robot 4K177-955-1
Edwards Vacuum Pump QDP80 Blower QMB250
KLA-Tencor Quantox 64000 Cooling Module
Verity Spectrograph SD1024D-2-S 1400-00204
HP A4902A Server Rack System A5787-70001
TEL ACT 12 TCP Transition Chill Plate 2985-412581-W1
Adixen Vacuum Turbopump Controller ACT 1300M 3620-00527
Nikon NSR Series Robot Interface Unit Z-X4P/12-A0702C
