Description
可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合,已成功地用于制造各种微传感器乃至多功能的敏感元件阵列(如光电探测器等),实现了诸如压力、力、加速度、角速率、应力、应变、温度、流量、成像、磁场、湿度、PH值、气体成分、离子和分子浓度以及生物传感器等。
EUPEC FZ-1200-R-16-KF4 NEW FZ1200R16KF4 2 PCS.
FANUC AC SERVO A06B-0166-B076-R USED A06B0166B076R
FANUC AC SERVO A06B-0166-B076-R USED A06B0166B076R
FANUC A06B-0373-B076 USED A06B0373B076
FANUC A06B-0143-B076#7075-R USED A06B0143B0767075R