Description
微传感器的特征之一是体积小，其敏感元件的尺寸一般为微米级。是由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。
EUPEC FZ-1200-R-16-KF4 NEW FZ1200R16KF4 2 PCS.
FANUC AC SERVO A06B-0166-B076-R USED A06B0166B076R
FANUC AC SERVO A06B-0166-B076-R USED A06B0166B076R
FANUC A06B-0373-B076 USED A06B0373B076
FANUC A06B-0143-B076#7075-R USED A06B0143B0767075R
