Description
利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合，已成功地用于制造各种微传感器乃至多功能的敏感元件阵列(如光电探测器等)，实现了诸如压力、力、加速度、角速率、应力、应变、温度、流量、成像、磁场、湿度、PH值、气体成分、离子和分子浓度以及生物传感器等。
FANUC SERVO AMPLIFIER A20B-1004-0851 USED A20B10040851
CSI 330080-02 BOARD USED 33008002
REXROTH MKD071B-061-GG0-KN PERMANANT MAGNET MOTOR USED
FANUC AC SERVO A06B-0265-4000 USED A06B02654000
REXROTH R911295613 BOARD NEW FS R911295613
