Description
各子站之间 实现相互的联锁控制之外还可提供操作信息的相互浏览，由于大量采用现场总线设备，这使 得基础过程设备的参数可在操作站上实现透明的Web浏览和参数的互操作，同时还配有OPC远 程服务软件来实现与上层网络的通讯，向工厂的管理网提供过程操作与数据趋势的信息浏览服务。
AXIC INC HF-8 MULTIMODE PLASMA PROCESSING SYSTEM
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