Description
产品概述
Applied Materials AMAT 0190-30354 Producer GT UV腔体是半导体制造过程中使用的关键组件。它属于著名半导体设备制造商Applied Materials的Producer GT系列UV腔体。该腔体专为光刻胶固化和晶圆键合应用而设计。
主要特点
高强度紫外线照射：提供强紫外线辐射，有效固化光刻胶并键合晶圆。
均匀照射：确保整个晶圆表面均匀照射，以获得一致的结果。
精确温度控制：在固化和键合过程中保持精确的温度控制。
可调曝光时间：允许调整曝光时间，以优化特定材料和应用的固化和键合过程。
坚固可靠的结构：具有坚固可靠的结构，适用于要求苛刻的半导体制造环境。
应用
Applied Materials AMAT 0190-30354 Producer GT UV腔主要用于半导体制造：
光刻胶固化：将光刻胶图案化到晶圆上以创建所需的电路设计后进行固化。
晶圆键合：在半导体制造过程中将晶圆键合在一起，例如堆叠多个硅晶圆或将硅晶圆键合到其他材料上。
微电子封装：固化微电子封装中使用的粘合剂和封装剂。
光学元件制造：固化光学粘合剂和键合光学元件。
医疗器械制造：医疗器械制造中的键合和固化材料。
技术规格
紫外线光源：汞灯
辐射波长：254 nm
辐射强度：高达10 W/cm²
温度控制范围：50°C至200°C
曝光时间范围：1秒至60分钟
腔体尺寸：600 x 600 x 600毫米（23.62 x 23.62 x 23.62英寸）
重量：约200公斤（441磅）
山西润盛进出口有限公司
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