Description
系统构成时需按几段工序集 中站点考虑，即按Web站思路布局，系统总监控点在1700余点，系统FF设备近190台。控制系 统构筑如图2所示。这里我尝试且实现了多厂家控制设备与现场总线设备的集成。H1总线上 的总线设备主要采用了Emerson Procese Management 的3051压力或差压变送器
ZEISS MICROSCOPE / KENSINGTON WAFER INSPECTION SYSTEM
BLUE M AC-7602HA-1 ENVIRONMENTAL CHAMBER TEMP HUMIDITY
AXIC INC HF-8 MULTIMODE PLASMA PROCESSING SYSTEM
LYDALL AFFINITY EWA23DKHE08CBS0 300KW CHILLER
