Description
Lam Research 810-099175-011 产品详情
概述
Lam Research 810-099175-011 是一款 运动控制器模块，由美国 Lam Research Corporation 生产。它用于 半导体晶圆制造设备，可 控制晶圆搬运和定位。
产品规格
- 型号: 810-099175-011
- 品牌: Lam Research
- 应用: 半导体制造, 晶圆搬运, 运动控制
- 接口: 以太网, RS-232
- 轴数: 2 轴
- 速度: 最大 1 米/秒
- 加速度: 最大 10 m/s²
- 精度: ±0.1 微米
- 工作温度范围: 0°C 至 +40°C
- 尺寸: 305 mm x 230 mm x 100 mm (12.01 in. x 9.06 in. x 3.94 in.)
- 重量: 5 kg (11.0 lb)
产品功能
- 高精度的运动控制: 可实现高精度的晶圆搬运和定位，满足半导体制造工艺的严格要求。
- 快速的响应速度: 可实现快速的运动控制，提高生产效率。
- 可靠的性能: 采用高品质的元器件和严格的制造工艺，确保可靠的性能。
- 易于使用: 提供直观的软件界面，方便用户操作。
应用示例
- 晶圆清洗: 可用于控制晶圆清洗设备的晶圆搬运和定位。
- 光刻: 可用于控制光刻设备的晶圆搬运和定位。
- 薄膜沉积: 可用于控制薄膜沉积设备的晶圆搬运和定位。
- 晶圆检测: 可用于控制晶圆检测设备的晶圆搬运和定位。
山西润盛进出口有限公司
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