LEYBELOD TURBOVAC 361

  • 高效抽气: TURBOVAC 361能够快速有效地抽除各种气体,包括惰性气体、腐蚀性气体和水蒸气等。
  • 超高真空: 能够产生极高的真空度,满足各种高真空应用的需求。
  • 无油抽气: 无油设计,避免了油污染,适用于对清洁度要求高的场合。
  • 低振动: 运行平稳,振动小,适用于对环境要求高的场合。
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Description

LEYBELOD TURBOVAC 361 产品详解

产品概述

LEYBELOD TURBOVAC 361 是一款由Leybold公司生产的高性能涡轮分子泵。涡轮分子泵是一种无油真空泵,主要用于产生超高真空环境。TURBOVAC 361以其高效的抽速、稳定的性能和广泛的应用范围而受到广泛应用。

主要功能

  • 高效抽气: TURBOVAC 361能够快速有效地抽除各种气体,包括惰性气体、腐蚀性气体和水蒸气等。
  • 超高真空: 能够产生极高的真空度,满足各种高真空应用的需求。
  • 无油抽气: 无油设计,避免了油污染,适用于对清洁度要求高的场合。
  • 低振动: 运行平稳,振动小,适用于对环境要求高的场合。

技术特点

  • 磁悬浮轴承: 采用磁悬浮轴承技术,使转子悬浮在磁场中,无机械接触,大大提高了泵的寿命和可靠性。
  • 叶轮设计: 采用特殊设计的叶轮,具有高抽速和宽压比的特点。
  • 冷却系统: 具有高效的冷却系统,保证泵的稳定运行。
  • 控制系统: 配备智能化的控制系统,方便操作和维护。

应用领域

  • 半导体制造: 用于半导体制造过程中的真空抽气。
  • 薄膜沉积: 用于薄膜沉积过程中的真空抽气。
  • 科研实验: 用于各种科研实验中的真空环境产生。
  • 分析仪器: 用于分析仪器中的真空抽气。

山西润盛进出口有限公司
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