Description
微传感器的特征之一是体积小，其敏感元件的尺寸一般为微米级。是由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。
REXROTH INDRAMAT MKD090B-035-GG0-KN MKD090B035GG0KN
REXROTH INDRAMAT MHD093B-058-NG1-AN MHD093B058NG1AN
REXROTH INDRAMAT MKD090B-035-GG0-KN MKD090B035GG0KN
ALLEN BRADLEY SERVO 1326AB-B430G-21 USED 1326ABB430G21
INDRAMAT NAM 1.3-15 REMAN. NAM1315
