TU837V1 3BSE013238R1 ABB

ABB TU837V1 3BSE013238R1
ABB TU836V1 3BSE013237R1
ABB TU835V13BSE013236R1
ABB 07KT98 GJR5253100R0270
ABB 07DC92 GJR5252200R0101

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Description

可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合,已成功地用于制造各种微传感器乃至多功能的敏感元件阵列(如光电探测器等),实现了诸如压力、力、加速度、角速率、应力、应变、温度、流量、成像、磁场、湿度、PH值、气体成分、离子和分子浓度以及生物传感器等。


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