Description
微传感器的特征之一是体积小，其敏感元件的尺寸一般为微米级。是由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。
INDRAMAT MHD093C-058-NG0-RN PERMANANT MAGNET MOTOR USED
INDRAMAT MHD093C-058-NG1-AN USED MHD093C058NG1AN
GENERAL ELECTRIC 44A963095-G02 SERVO DRIVE 44A963095G02
GE FANUC A06B-0315-B005 #7008 USED A06B0315B0057008
GE FANUC A06B-0315-B004 /7000-R USED A06B0315B0047000R
