YT223001-AC ABB

ABB YT223001-AE YX∪
ABB PG6310
ABB GM5201
ABB GF5101

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Description

是由微机械加工技术制作而成的,包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺,可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合


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